marione-表面处理marione-津泽机电科技

例如，在制作lsi时，在lsi基础上制作氧化硅膜，将想要印刷在那里的形状

用光致抗蚀剂（被称为有机物。起到感光剂的作用。）“草稿”。

如果从该草稿上照射与氧化硅膜反应离子，则草稿不在上面

氧化硅膜被离子除去，草稿与离子不反应

未去除带有草稿的氧化硅膜部分（=图案化）。

作为该掩模残留的光致抗蚀剂主要由c和h构成

再加上氧气o2，uv洗净marione，抗蚀剂可以分解成cox和h2o除去。

像这样“除去抗蚀剂的作业”叫做灰化。

伴随着高集成化电路线宽的变窄，灰化在完成一个lsi之前

进行约30次左右的情况变多了，那样的话，灰化对设备的损伤

直接导致对lsi的损伤。因此，即使是高速作业也需要低损伤灰化方法

光灰化的需求增加了。

在有机物的污染膜等的情况下，marione紫外线，大的是湿清洗，微细的是光（uv）清洗

结合清洗方法可以---提高清洗效果。

分子单位的污垢是光，比它大的用湿法清洗。

（1）粒子（虽然只是单纯的垃圾，但是看不见的水平）>;从空气中等附着的垃圾。

多μm，0.1μm级。

（2）金属系的污染>;从人体蒸发的汗中含有的钠分子

药液类中含有的微量重金属原子等。即使是分子系，钠等也容易成为与其他物质合成物

用湿式清洗可以去除的情况很多。

（3）有机污染＝碳成分>;人的头屑和污垢中含有的碳、药液中含有的微量碳分子、

---等。

（4）油脂>;人的体表、汗水、指纹等所含的油分等。

（5）自然氧化膜>;物质表面与---中的氧结合形成1～2nm的氧化膜

空气中的杂质混入而造成污染。