miruc-m-1(a)物镜镜筒-物镜镜筒

来自低压灯185nm光被空气中的氧吸收而产生臭氧

254nm光被臭氧吸收并被活化（＝氧化力高、激发状）

生成氧原子。由此切断有机物的结合，将有机物变成水和---

氧化分解·挥发。

发射172nm光的准分子灯时可以直接生成o

由准分子灯生成活性氧种仅在灯表面附近发生氧化反应

172nm波长光被氧---吸收，因此在---中照射距离变得极短

---中的有效照射距离为0～3mm，临界照射距离为8mm。

为了比较低压/准分子、两个灯而表示能量值的话

647:696（kj/mol），准分子灯的能量高约7.6%

（92.96:100以上100÷92.96），zl-90物镜镜筒，低压灯在---中的有效照射距离为0～20mm

因为临界照射距离为200mm，所以从照射距离等考虑便利性，低压灯

应用范围广（＝准分子---照射至3mm），物镜镜筒m-45，而准分子产生的172nm线的能量

理论值比185nm高约7.6%，因此在需要高能量的特殊用途中

选择“准分子灯有效”。

另外，好像有其他公司的资料显示，清洗速度比低压灯快

这在比较基准的照射距离的设定上有错误，将实验中的照射距离

与准分子=3mm、低压灯=30mm相比，“准分子---势”

用相差10倍的照射距离进行比较等，没有比较的意义*。

接触角的变化在其适应性有效距离上两者没有能力差。

倒不如说，在光清洗效果中，与5mm距离低压灯、1mm距离

在（从氮室合成石英玻璃面）的准分子中，物镜镜筒，低压灯

有稍微接触角变低（=清洗效果高）的结果。

需要该比较资料（概略）的人请在环境事业部门

现在从准分子灯得到的好处是，用光清洗uv灯

uv清洗·uv改性在十几秒～几分钟的短时间内，在平滑的方面

在不使其表面粗糙而变为亲水性表面改性·清洗方法（uv表面处理）中

是活用uv光强的能源功能的技术。

uv表面处理（uv清洗·uv改性）也提高了表面粘接性

广泛用于印刷、粘接、电路基板晶片制作等。

技术主题（有链接）说明（下划线为摘要说明）

uv表面处理紫外线波长uv技术中使用的uv波长的种类/表面处理uv波长

uv表面处理光清洗/光改性/光刻u各技术的概论说明/光（uv）清洗/光（uv）改性/光刻

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