切割机apl-1010p-p-切割机-北川铁工所

kuroda黑田精工nanometro? tt 系列表面形状测量装置

超精密表面形状测量装置，nanometro? tt 系列，nanometro? 300pt，超精密平面度测量装置sf-640m，nanometro? fr系列

产品介绍

nanometro tt系列是垂直旋转/边缘夹持型晶圆平整度测量装置。边缘排除为 1mm，并且可以使用盒到盒进行---自动测量。此外，评估项目符合semi标准。

nanometro? 300pt

用于成膜过程控制和夹紧过程平面度控制

水平旋转、真空吸盘式φ300mm晶圆表面形状检查装置。

边缘排除为 1mm。可以逐盒进行 sori、平面度等---自动测量。

nanometro? f 系列

---测量晶圆、fpd玻璃基板等的表面形状。

采用高刚性的---空气平台，可---测量晶圆、fpd玻璃基板、大型陶瓷平台、精密工作台等大型元件的表面形状。通过简单的操作即可输出从表面形状分析评价到粗糙度评价等各种数据。

“超精密平面度测量装置sf-640m”是作为精密平面磨床加工的模具等工件的精度评价系统而开发的。本机应用了作为本公司的硅晶片用超精密测量装置的「纳米metro」的技术和经验技术，使平面和边缘的---的评价成为可能，切割机apl5-2013p-w，用鸟瞰图和断面图，等高线等各种各样的形式评价平面形状。

nanometro? fr 系列

陶瓷板等平面度的---测量

配备旋转气动工作台，可测量直径达 1000mm 的圆盘表面形状，例如用于晶圆抛光的陶瓷板和研磨台。我们提供支持各种测量的软件，包括用于详细评估的同心测量和用于粗略评估的径向测量。

半干式加工润滑油供给装置kep4黑田精工kuroda

半干式加工润滑油供给装置，ecosaver/kep4（机装型），ecosaver/kep-wr（外置型），ecosaver/kep-v（大油量型）

产品介绍

ecosaver/kep4（机装型）

适合在加工中心、nc铣床等中使用m信号控制切削油。

半干式加工是一种切削技术，可以减少切削油的消耗，降低供油设备和废油处理的成本，延具的寿命，保持加工精度。

ecosaver是半干式加工用润滑油供给装置，利用压缩空气雾化油的原理，在容器内产生雾状，仅将细雾（微雾）与空气一起供给到容器外部。

“ecosaver kep4”采用仅供给粒径1μm左右的油雾的结构，即使在高速加工中心和复杂的配管中，切削油也能在ecosaver运行开始后约1秒内到达加工部位。

特征

排出的油量由内置电磁阀分两级控制。

与排出孔径的大小无关，轻型加工切割机a-3000，排出压力恒定*1

采用经过验证的自吸喷嘴

采用大型先导式电磁阀

内置油位开关，加油时提醒您

与水溶性切削液兼容*2

符合耐臭氧标准

符合rohs指令

ecosaver/kep-wr（外置型）

功能专门集中于外部喷嘴。

可以低成本实现的半干法加工。

它是一种切削技术，可减少切削油的消耗，降低供油设备和废油处理的成本，延长切削刀具的寿命，保持加工精度。

ecosaver是半干式加工用润滑油供给装置，利用压缩空气雾化油的原理，在容器内产生雾状，仅将细雾（微雾）与空气一起供给到容器外部。

“ecosaver kep-wr”非常适合使用外部喷嘴向车床、锯床、滚齿机、mc 机床等供给切削油。

特征

通过刻度盘可以轻松调节油量。

恒压控制响应喷嘴直径的变化

结构经过---设计，易于使用

水箱容量 1，200ml

易于安装作为改造