例如,在制作lsi时,在lsi基础上制作氧化硅膜,将想要印刷在那里的形状
用光致抗蚀剂(被称为有机物。起到感光剂的作用。)“草稿”。
如果从该草稿上照射与氧化硅膜反应离子,则草稿不在上面
氧化硅膜被离子除去,草稿与离子不反应
未去除带有草稿的氧化硅膜部分(=图案化)。
作为该掩模残留的光致抗蚀剂主要由c和h构成
再加上氧气o2,抗蚀剂可以分解成cox和h2o除去。
像这样“除去抗蚀剂的作业”叫做灰化。
伴随着高集成化电路线宽的变窄,灰化在完成一个lsi之前
进行约30次左右的情况变多了,那样的话,uv清洗装置marionet,灰化对设备的损伤
直接导致对lsi的损伤。因此,即使是高速作业也需要低损伤灰化方法
光灰化的需求增加了。
如果在---中改变照射时间对pbt和pps照射低压灯,则随着---量增加
开始是急剧的,之后是缓慢的“润湿指数”增加。
因此,15秒左右开始的uv照射,可以得到实用水平的润湿性---(=密合性---)效果。
另外,污染膜的厚度会影响去除污垢,所以首先要用湿式清洗等去除污垢。
从用双液环氧系粘接剂粘接该uv照射pps和pbt时的强度与照射量的关系来看
粘接强度也和粘着指数一样,随着---量的增加而变强。
但是,粘合强度在某---量的地方迎来了峰值,超过该峰值就会下降。
这不是数据错误,粘接需要粘接剂---地润湿被粘物
粘合剂也具有固有的表面张力,suv灯marionetwor,被粘物与粘合剂的表面张力相等时(=正确时
极性成分和非极性成分相等,界面张力为零时),可获得大的粘接力。
有机物除去水平,也可以通过测定、比较清洗前后的---面碳量来判断
如果你的目的是评估清洗效果和改性水平,有三种更简单的评估方法。
(1)水滴的接触角
将纯液滴加到试验体表面,测定其水滴的接触角,评价亲水性。
当润湿性提高时,表面能量变小,因此落到表面水滴的接触角越小
被亲水化了。这里严格角度测量需要昂贵的测量仪器
也有根据水滴的高度、直径等判断的简易方法。(来自容易比较的同一部位的照片判定等。)
(2)试剂润湿性评价
将润湿试剂(和光纯药制)用棉棒等涂在试验体表面,确认试剂是否不会裂开而润湿扩展
根据扩展程度评价润湿性的方法。(总之虽然---,但是有考试者的个人差异被判定的缺点。)
(3)基于横切的涂装附着性评价
在试验体上涂装酸漆,marionet,在其干燥后涂膜10cm×10cm的面积上
切成1cm角棋盘格状,用透明胶带剥离涂膜,以其剩余数量
评价涂膜的粘接力(粘接力)。作为改质效果评价法的一种,是jis规定的方法之一
粘接力的评价法还有jis规格,详细情况请参照书籍。
关于清洗效果,没有确立定量性---方法
接触角的测量是---的评估方法。
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