uv硬化装置1200ｍw津泽机电科技uv硬化装置

例如，在制作lsi时，在lsi基础上制作氧化硅膜，将想要印刷在那里的形状

用光致抗蚀剂（被称为有机物。起到感光剂的作用。）“草稿”。

如果从该草稿上照射与氧化硅膜反应离子，uv硬化装置，则草稿不在上面

氧化硅膜被离子除去，草稿与离子不反应

未去除带有草稿的氧化硅膜部分（=图案化）。

作为该掩模残留的光致抗蚀剂主要由c和h构成

再加上氧气o2，uv硬化装置1200ｍw，抗蚀剂可以分解成cox和h2o除去。

像这样“除去抗蚀剂的作业”叫做灰化。

伴随着高集成化电路线宽的变窄，灰化在完成一个lsi之前

进行约30次左右的情况变多了，那样的话，灰化对设备的损伤

直接导致对lsi的损伤。因此，即使是高速作业也需要低损伤灰化方法

光灰化的需求增加了。

uv清洗=一般指光清洗，将物体表面有机污浊膜

使用uv及uv生成的臭氧去除。

即使在uv清洗前工序中进行湿式清洗的情况下，通过追加uv清洗，清洗效果也会增加

由于混入物和附着物的---减少，产品的稳定，成品率提高。

另外，通过去除形成表面难粘接层的有机污浊膜，uv硬化装置400w，间接地有助于提高粘接力。

uv清洗也应用于lcd·印刷相关，通过亲水化作用---油墨的乘坐

也被应用于光致抗蚀剂显---的残留（=残留物）去除。

通常uv清洗的效果，到下一个工序为止只要2小时左右就不会达到再污染。

uv表面改性=作为主要的改性例子，直接提高固体表面的粘接力。

---的短波长uv光可以在十几秒到几分钟内对塑料表面进行改性以提高粘合力和附着力。

因为也不用底漆等溶剂，所以对工序数的削减、作业环境的---、作业的自动化等做出贡献。

uv表面改性的效果通常持续3周左右。