mf-1(a)物镜镜筒-物镜镜筒-津泽机电科技

例如，mf-1（a）物镜镜筒，在制作lsi时，在lsi基础上制作氧化硅膜，物镜镜筒m-45，将想要印刷在那里的形状

用光致抗蚀剂（被称为有机物。起到感光剂的作用。）“草稿”。

如果从该草稿上照射与氧化硅膜反应离子，则草稿不在上面

氧化硅膜被离子除去，草稿与离子不反应

未去除带有草稿的氧化硅膜部分（=图案化）。

作为该掩模残留的光致抗蚀剂主要由c和h构成

再加上氧气o2，抗蚀剂可以分解成cox和h2o除去。

像这样“除去抗蚀剂的作业”叫做灰化。

伴随着高集成化电路线宽的变窄，灰化在完成一个lsi之前

进行约30次左右的情况变多了，那样的话，灰化对设备的损伤

直接导致对lsi的损伤。因此，物镜镜筒，即使是高速作业也需要低损伤灰化方法

光灰化的需求增加了。

uv和臭氧并用的「粘接力改性」的效果，根据素材有大的差异。

对氟树脂和聚缩醛没有效果，很多工程塑料和

金属铝，不锈钢有效果，mf-45物镜镜筒，实用化。

另外，不能得到充分改性的材料，如果同时使用光敏剂，改性也会提高。

（在光敏化剂存在下，向液晶聚合物照射以254nm为中心的uv

使聚合性乙烯基单体接枝聚合，形成柔性多层印刷电路基板

有开发液晶聚合物薄膜的例子。）

uv表面改性技术不仅有利于---产品的生产，也有利于一般工业产品的生产

其中一个例子是塑料观赏用水槽的uv臭氧粘接前处理装置等。

这样的装置不需要涂漆，有助于---作业环境和促进量产化。