物镜镜筒-miruc-mf-90物镜镜筒

例如，在制作lsi时，在lsi基础上制作氧化硅膜，将想要印刷在那里的形状

用光致抗蚀剂（被称为有机物。起到感光剂的作用。）“草稿”。

如果从该草稿上照射与氧化硅膜反应离子，则草稿不在上面

氧化硅膜被离子除去，草稿与离子不反应

未去除带有草稿的氧化硅膜部分（=图案化）。

作为该掩模残留的光致抗蚀剂主要由c和h构成

再加上氧气o2，抗蚀剂可以分解成cox和h2o除去。

像这样“除去抗蚀剂的作业”叫做灰化。

伴随着高集成化电路线宽的变窄，灰化在完成一个lsi之前

进行约30次左右的情况变多了，那样的话，灰化对设备的损伤

直接导致对lsi的损伤。因此，物镜镜筒，即使是高速作业也需要低损伤灰化方法

光灰化的需求增加了。

来自低压灯185nm光被空气中的氧吸收而产生臭氧

254nm光被臭氧吸收并被活化（＝氧化力高、激发状）

生成氧原子。由此切断有机物的结合，将有机物变成水和---

氧化分解·挥发。

发射172nm光的准分子灯时可以直接生成o

由准分子灯生成活性氧种仅在灯表面附近发生氧化反应

172nm波长光被氧---吸收，因此在---中照射距离变得极短

---中的有效照射距离为0～3mm，临界照射距离为8mm。

为了比较低压/准分子、两个灯而表示能量值的话

647:696（kj/mol），准分子灯的能量高约7.6%

（92.96:100以上100÷92.96），低压灯在---中的有效照射距离为0～20mm

因为临界照射距离为200mm，所以从照射距离等考虑便利性，低压灯

应用范围广（＝准分子---照射至3mm），而准分子产生的172nm线的能量

理论值比185nm高约7.6%，因此在需要高能量的特殊用途中

选择“准分子灯有效”。

另外，好像有其他公司的资料显示，mf-90物镜镜筒，清洗速度比低压灯快

这在比较基准的照射距离的设定上有错误，将实验中的照射距离

与准分子=3mm、低压灯=30mm相比，“准分子---势”

用相差10倍的照射距离进行比较等，没有比较的意义*。

接触角的变化在其适应性有效距离上两者没有能力差。

倒不如说，mf-1（a）物镜镜筒，在光清洗效果中，与5mm距离低压灯、1mm距离

在（从氮室合成石英玻璃面）的准分子中，低压灯

有稍微接触角变低（=清洗效果高）的结果。

需要该比较资料（概略）的人请在环境事业部门

现在从准分子灯得到的好处是，用光清洗uv灯